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避免了多关节机械臂正在持久运转中不成避免发生的颗粒污染。每个支取其对应的工艺模块相毗连，投资需隆重。公开号CN121712283A，其包罗环形从干道，不形成小我投资。专利摘要显示！
包罗轨道系统，职业学院申请一项名为“一种半导体元件的从动化加工设备”的专利，多个所述工艺模块呈放射状环绕环形从干道，用于加工半导体元件，所述环形从干道四周设置有多个工艺模块，新大新机电科技无限公司;两者之间设置有驱动系统，所述轨道系统被设想为具有受控实空的密封通道，本申请涉及半导体系体例制配备手艺范畴，申请日期为2025年11月。仅供参考，所述轨道系统上承载有多个悬浮托盘，声明：市场有风险，
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